御微半导体首台晶圆套刻量测设备HOUYI产品顺利发运

（以下内容从中银证券《御微半导体首台晶圆套刻量测设备HOUYI产品顺利发运》研报附件原文摘录）
　　12月27日，御微半导体首台晶圆套刻量测设备HOUYI产品发运仪式于合肥御微圆满举行。 作为半导体光刻工艺三大核心指标之一，套刻误差直接影响层与层之间的对准精度，对半导体芯片的器件性能和良率起着决定性影响。随着半导体工艺节点不断减小，先进制程关键尺寸已达纳米维度，因此光刻制程对套刻量测性能提出了极为苛刻的技术要求。御微半导体自主研发的晶圆套刻量测设备HOUYI产品，可满足前道制程套刻量测要求。 HOUYI产品名称来源于中国古代神话中射日之神射手后羿，代表了御微HOUYI产品线精准灵敏重复性高的产品特点。同时作为一款国产化半导体核心装备，HOUYI产品线采用御微自研关键元件。 御微半导体晶圆套刻量测设备HOUYI HOUYI产品的推出，代表着御微半导体在光刻制程核心装备版图的进一步完善，实现了晶圆检测、掩模版检测及晶圆量测三大领域的产品布局。御微半导体专注集成电路前道量检测领域，将不断提升优化产品质量，满足客户需求，以领先的智能设备、解决方案和服务为客户创造价值，共同推进中国集成电路设备产业快速发展。 END 关于御微 御微半导体是一家以市场和技术双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的科创企业。公司面向集成电路制造、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域，为客户提供具有竞争力的产品及技术解决方案。公司聚焦于集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测、晶圆测量等4大领域6大类量检测产品。深耕技术实力、提高产品性能，丰富产品类型，促进国内半导体设备产业健康快速发展，为客户不断创造价值。

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