东京电子(TEL)的发展历史:从国产化,到国际化
(以下内容从中银证券《东京电子(TEL)的发展历史:从国产化,到国际化》研报附件原文摘录)
1、日本半导体设备起步晚于美国半导体设备,但在1990年前后实现赶超 美国半导体设备最早起源于1960年代的K&S(现在是封装设备龙头)、GCA(现在是美国地球物理公司)、Kasper等,以及半导体企业内部设备研发如Fairchild Semiconductor。 60年代后期至70年代初期,日本常与美企成立合资公司,寻求日本本土化生产与研发的可能性。例如,1967年日本电气与Varian Associates公司成立合资企业,开始在日本开发生产自动铝线真空镀膜设备以及溅射装置;1968年TEL与Thermco成立合资公司,开始在日本生产扩散炉;1974年日本真空技术也与外国公司合作开发离子注入机。 70年代后期,日本半导体设备国产化加快;到了80年代,日本半导体设备走向美国,许多日本公司开始建立美国子公司,到1988年,美国部分半导体设备的进口比例达到60%以上。 2、东京电子的成长:从进口代理,发展到合资生产、引进技术,先后实现国产化、国际化 东京电子起源于1963年11月11日成立的东京电子研究所,主要从事汽车收音机的出口和半导体制造设备的进口代理,两位创始人是一家综合商社“日商岩井”同事的久保德雄(当时30岁)和小高敏夫(当时27岁)。 1964年,开始进口美国Thermco公司的扩散炉; 1965年,东京电子研究所成为Fairchild Semiconductor的日本代理商,代理IC检测工具。 1968年,东京电子研究所与美国赛默飞Thermco在日本成立合资企业,成为日本第一家半导体设备制造企业,引进生产扩散炉。 1975年,东京电子研究所决定专注于半导体设备的研发与生产,放弃汽车收音机电子产品的出口业务。 1978年,东京电子研究所改名东京电子公司,并于1980年上市。 1980年代,东京电子顺势日本半导体产业(NEC、三菱电机、日立、东芝、富士通)崛起,进一步积极推动半导体制造设备的国产化。 1983年,东京电子与美国Lam Research合作,引进当时一流的美国技术,在日本本土开始生产刻蚀机。 1989-1991年,东京电子的半导体制造设备销售额位居全球第一,超越美国半导体设备厂商。当时,全球10家半导体设备厂商中有5家是日本企业,包括东京电子、光刻机龙头尼康和佳能、测试机龙头爱德万、日立制作所。 3、目前的东京电子:经营稳健,产品线丰富,市占率高 东京电子专注于CVD、ALD、热处理、涂胶显影、清洗、刻蚀以及探针台等设备环节,可覆盖市场规模SAM占半导体设备WFE市场的38% 2022财年,东京电子的半导体设备销售额1.5万亿日元,其中涂胶显影占23%,刻蚀占39%,CVD、ALD等薄膜设备占21%,清洗设备占11%,探针台占5%。2020财年、2021财年的产品结构变动不显著。 2021年,东京电子销售额在全球半导体设备WFE行业的占比为14.6%,其中,东京电子在涂胶显影的市占率为89%,在刻蚀设备市占率29%,在沉积设备市占率39%(CVD44%,ALD29%,氧化扩散51%),在清洗设备市占率25%,在探针台市占率47%。 2022财年,东京电子的半导体设备销售额增长48%,其中,在中国地区的销售额从上年度3258亿日元,增长58%至5135亿日元,收入占比从25%上升至26%,仍是东京电子第一大收入来源的市场。 4、TEL:全球半导体设备WFE第3名 根据各公司/母公司公告前道半导体设备(WFE)企业的2021年销售额数据,其中TEL位居全球第3名: 第一名:AMAT 第二名:ASML 第三名:TEL 第四名:Lam Research 第五名:KLA 第六名:DNS 第七名:SEMES 第八名:KE 第九名:Hitachi High-Tech 第十名:ASM 资料来源:Innov100,《董事会》2017年第11期,《日本半导体发展史》,各公司公告,中国国际招标网,Wind,KE主页、TechInsights、微信公众号金捷幡等 附先进制程技术路线:
1、日本半导体设备起步晚于美国半导体设备,但在1990年前后实现赶超 美国半导体设备最早起源于1960年代的K&S(现在是封装设备龙头)、GCA(现在是美国地球物理公司)、Kasper等,以及半导体企业内部设备研发如Fairchild Semiconductor。 60年代后期至70年代初期,日本常与美企成立合资公司,寻求日本本土化生产与研发的可能性。例如,1967年日本电气与Varian Associates公司成立合资企业,开始在日本开发生产自动铝线真空镀膜设备以及溅射装置;1968年TEL与Thermco成立合资公司,开始在日本生产扩散炉;1974年日本真空技术也与外国公司合作开发离子注入机。 70年代后期,日本半导体设备国产化加快;到了80年代,日本半导体设备走向美国,许多日本公司开始建立美国子公司,到1988年,美国部分半导体设备的进口比例达到60%以上。 2、东京电子的成长:从进口代理,发展到合资生产、引进技术,先后实现国产化、国际化 东京电子起源于1963年11月11日成立的东京电子研究所,主要从事汽车收音机的出口和半导体制造设备的进口代理,两位创始人是一家综合商社“日商岩井”同事的久保德雄(当时30岁)和小高敏夫(当时27岁)。 1964年,开始进口美国Thermco公司的扩散炉; 1965年,东京电子研究所成为Fairchild Semiconductor的日本代理商,代理IC检测工具。 1968年,东京电子研究所与美国赛默飞Thermco在日本成立合资企业,成为日本第一家半导体设备制造企业,引进生产扩散炉。 1975年,东京电子研究所决定专注于半导体设备的研发与生产,放弃汽车收音机电子产品的出口业务。 1978年,东京电子研究所改名东京电子公司,并于1980年上市。 1980年代,东京电子顺势日本半导体产业(NEC、三菱电机、日立、东芝、富士通)崛起,进一步积极推动半导体制造设备的国产化。 1983年,东京电子与美国Lam Research合作,引进当时一流的美国技术,在日本本土开始生产刻蚀机。 1989-1991年,东京电子的半导体制造设备销售额位居全球第一,超越美国半导体设备厂商。当时,全球10家半导体设备厂商中有5家是日本企业,包括东京电子、光刻机龙头尼康和佳能、测试机龙头爱德万、日立制作所。 3、目前的东京电子:经营稳健,产品线丰富,市占率高 东京电子专注于CVD、ALD、热处理、涂胶显影、清洗、刻蚀以及探针台等设备环节,可覆盖市场规模SAM占半导体设备WFE市场的38% 2022财年,东京电子的半导体设备销售额1.5万亿日元,其中涂胶显影占23%,刻蚀占39%,CVD、ALD等薄膜设备占21%,清洗设备占11%,探针台占5%。2020财年、2021财年的产品结构变动不显著。 2021年,东京电子销售额在全球半导体设备WFE行业的占比为14.6%,其中,东京电子在涂胶显影的市占率为89%,在刻蚀设备市占率29%,在沉积设备市占率39%(CVD44%,ALD29%,氧化扩散51%),在清洗设备市占率25%,在探针台市占率47%。 2022财年,东京电子的半导体设备销售额增长48%,其中,在中国地区的销售额从上年度3258亿日元,增长58%至5135亿日元,收入占比从25%上升至26%,仍是东京电子第一大收入来源的市场。 4、TEL:全球半导体设备WFE第3名 根据各公司/母公司公告前道半导体设备(WFE)企业的2021年销售额数据,其中TEL位居全球第3名: 第一名:AMAT 第二名:ASML 第三名:TEL 第四名:Lam Research 第五名:KLA 第六名:DNS 第七名:SEMES 第八名:KE 第九名:Hitachi High-Tech 第十名:ASM 资料来源:Innov100,《董事会》2017年第11期,《日本半导体发展史》,各公司公告,中国国际招标网,Wind,KE主页、TechInsights、微信公众号金捷幡等 附先进制程技术路线:
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