KLA=KL+A,2021年全球半导体良率设备行业继续封神,谁将是中国的半导体量测王者?!

（以下内容从中银证券《KLA=KL+A,2021年全球半导体良率设备行业继续封神,谁将是中国的半导体量测王者?!》研报附件原文摘录）
　　KLA=Ken Levy+Anderson 根据金老师的文章，Ken Levy参与了阿波罗登月的模拟。Ken Levy在CV期间从K&S（成立于1956年，半导体设备骨灰级老牌企业，目前是半导体封装设备龙头，应该和光刻没啥关系了）购买手工对齐套刻的标准设备，然后改成自动对齐后再卖。后来拉着财务Bob Anderson出来创业成立KLA。 半导体设备就是这样，不管这个技术创新是飞跃性的还是细微的技术改进，总之都要自己持续不断的技术创新，没有捷径可以走。 金老师有句话总结特别到位：KLA总是擅于发明别人没有但是又很需要的东西，这使得赛道上总是没有竞争者！！！但是说起来容易做起来不要太难。 KLA，2021自然年销售额81.66亿美元，只增长了34%，相比半导体设备行业40%+的增长，KLA看似慢了一点点。但是KLA 2022年Q1销售额22.89亿美元，同比增长27%，明显快于行业5%的增速，KLAQ2销售额指引中值24.25亿美元，同比增长27%，仍将明显快于行业10%的增速。 单看半导体设备系统的销售收入的话，KLA2021年半导体设备整机销售额55.73亿美元，同比增长46%，2022年Q1半导体设备整机销售额16.36亿元，同比增长38%，都比行业增速快，对吧？！ 市占率方面，KLA一直垄断了全球50%以上的半导体量测设备市场。据我们统计，KLA2021年市占率53%左右，居高不下啊。 据ICWORLD历史会议资料，KLA在居多量测设备领域处于绝对垄断地位，在量测细分环节的市占率远不止50%+，而是达到70%以上。当然这是老数据，实在拿不到最新数据了。 据我们统计，2021年全球半导体量测设备的整机设备销售额（不含服务和泛半导体）105亿美元，同比增长43%，占WFE的比例达到12%。其中： 第一名：KLA。总销售额81.66亿美元，但半导体量测整机收入55.73亿美元，同比增长46%快于量测行业整体43%，市占率53%； 第二名：AMAT，2021年应用材料的量测销售收入同比增长60%以上； 第三名：日立科技。日立科技2021年总体的销售收入几乎与2020年持平； 第四名：Onto。总体收入7.89亿美元，同比增长42%； 第五名：LaserTec。总体收入6.81亿美元，同比增长31%； 第六名：ASML。2021年量测设备收入6.01亿美元，同比增长51%； 第七名：Nova。2021年销售额4.16亿美元，同比增长54%。 第七名：中国大陆地区。国内量测设备企业上海精测、中科飞测的收入合计约0.79亿美元，也就是人家一个零头，相当于KLA总收入的1%都还不到。 近年来，KLA、AMAT、ASML三家公司在电子束缺陷检测产品上展开激烈竞争，新产品升级推陈出新，竞争氛围相比LAM、ASM等single wafer ALD不相上下。 （1）AMAT：2021年E-beam产品销售翻倍增长； （2）ASML：量测设备整体增长51%； （3）KLA：包括无图案晶圆缺陷检测、宏观检测和电子束等多个产品正处于强劲增长时期。 中国大陆的量测设备起步，可以追溯到睿励上海成立于2005年的时候，至今已有17年的历史，KLA是1976年成立的，比睿励上海早成立29年。 目前，中国大陆的量测设备企业如下，不足之处敬请大家补充： 从另外一个角度，一起来看看国产半导体量测设备的发展程度：量测设备国产化率居然接近于0%，路还很遥远。 数据来源：招标网 然而，我们本土晶圆产线上的量测设备还不得不从美国、日本、欧洲等进口，因为全球半导体量测设备，75%被美系厂商（KLA、Onto、AMAT）占据，15%来自日本（日立科技、LaserTec），6%来自欧洲（ASML），仅不足1%来自中国大陆。 看来，要实现真正的科技强国，半导体量测设备也是靠脖子的核心环节。 那么，谁将是中国的半导体量测王者，引领量测设备的国产化？ 1、上海睿励： 上海睿励主营的产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。 上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3D NAND芯片的生产，并正在验证96层3D NAND芯片的测量性能。 上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备。 2、上海精测半导体： 膜厚产品（含独立式膜厚设备）、电子束量测设备已取得国内一线客户的批量订单； 明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单； OCD 设备也获得国内一线客户验证通过； 半导体硅片应力测量设备等其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。 3、东方晶源： 东方晶源在2021年6月成功地研发了12英寸的CD-SEM缺陷检测设备； 东方晶源2022年再次成功研发了首台8英寸的CD-SEM设备，而且已经交付给企业进入使用； 公司客户包括燕东微电和中芯国际。 4、埃芯半导体 目前埃芯半导体已自主研发了多种用于前道晶圆制造过程控制的量测产品与解决方案，包括薄膜测量设备、关键尺寸测量设备和材料量测设备等，并实现了多个技术突破。 5、御微半导体 公司聚焦于集成电路光学量检测系统设计与系统集成，已形成掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测、晶圆测量等四大领域6大类量检测产品： 2022年5月5日，御微半导体晶圆检测设备顺利发往长鑫存储 2022年4月10日，合肥御微半导体首台硅片全景检测产品成功发运 2021年4月27日，御微半导体首台硅片检测设备正式从上海张江公司发运 2019年11月15日，御微半导体首台掩模检测产品正式发运 6、中安半导体 南京中安半导体设备有限公司是一家由美国硅谷顶尖半导体公司资深技术总监和开发半导体生产检测设备丰富经验的工程师团队创建的公司。公司致力于打破国外对尖端半导体检测设备的垄断，专业从事半导体生产线精密检测设备的研发和生产。 2022年一季度，中安半导体完成A轮2亿元融资，由中芯聚源、元禾璞华领投，江北科投、红杉资本以及老股东华登国际、金茂资本参与跟投，本轮融资资金将主要用于新产品研发。 资料来源：KLA、各公司主页、Wind、金老师的文章等等

点此查看微信公众号原文全部内容>>

大部分微信公众号研报本站已有pdf详细完整版：https://www.wkzk.com/report/（可搜索研报标题关键词或机构名称查询原报告）