浙商证券-微导纳米-688147-深度报告：中国ALD设备龙头，半导体光伏两翼齐飞-230216

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　　中国ALD设备龙头，技术引领半导体、光伏设备领域
　　公司以原子层薄膜沉积技术为核心，下游覆盖半导体、光伏、柔性电子三大领域。公司是国内首家成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm集成电路制造前道量产线的国产设备公司，已在逻辑芯片、先进存储、化合物半导体等多个细分应用领域获得订单。公司首创将ALD技术应用于光伏领域，技术覆盖PERC、TOPCon、xBC、钙钛矿等电池路线，TOPCon整线工艺订单放量在即。
　　2018-2021年，公司营收由0.42亿元增长至4.28亿元，CAGR高达117%。
　　半导体设备：预计2024年我国ALD设备市场规模超百亿元，国产替代需求广阔
　　ALD设备是芯片微缩的核心动力之一，SEMI预计2020年-2025年全球ALD设备市场规模年复合增长率达26.3%，据此测算2024年我国ALD设备市场规模达百亿元。全球ALD设备被国外厂商垄断，国产ALD设备市占率低，且美国半导体管制下卡脖子环节得到关注，公司作为国内半导体ALD技术领军者享有更多设备验证机会，国产替代需求广阔，半导体ALD设备市占率有望加速突破。
　　光伏设备：新型电池路线布局全面，技术迭代下受益确定性高
　　公司电池新技术布局全面，TOPCon、xBC、钙钛矿均有出货，HJT积极技术布局。TOPCon领域，公司ALD设备市占率60%+，整线设备加速导入大客户，放量可期。xBC领域，22年上半年招标中公司ALD设备市占率超75%，客户覆盖隆基、爱旭等xBC主要玩家。钙钛矿领域，公司设备已出货欧洲。目前N型电池技术步入量产阶段，TOPCon率先规模放量，预计2022-2025年迎TOPCon扩产高峰。公司当前受益于TOPCon扩产订单快速增长，未来有望受益于新型电池技术迭代，长期空间广阔。
　　在手订单、人员高增长，募投大幅扩产彰显发展信心
　　受益于光伏下游高景气及半导体客户的拓展，公司在手订单高增长。截至2022年9月公司在手订单19.75亿元，是2021年末的2.2倍。公司积极扩充人员，截至2022年6月末员工808人，是2019年末的3.1倍，产能得到大幅提升。此次募投项目拟建设120台/年光伏及柔性电子ALD设备及40台/年半导体ALD设备产能，项目建设期分别为两年、三年，为订单持续增长提供产能支持。
　　盈利预测：预计公司2022-2024年实现营业收入6.72、14.07、23.62亿元，同比增长57%、109%、68%，CAGR 87%；归属母公司净利润0.56、1.65、2.50亿元，同比增长20%、198%、51%，CAGR 112%。首次覆盖，给予“增持”评级。
　　风险提示：
　　国内市场竞争加剧的风险、技术迭代及新产品开发风险、新产品验证进度及市场发展不及预期的风险、美国半导体管制加剧风险