广发证券-微导纳米-688147-本土ALD设备领军者，空间广阔未来可期-221221

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　　核心观点：
　　本土ALD设备领军者，坚持高研发投入夯实竞争壁垒。微导纳米成立于2015年，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发生产和销售。公司高度重视研发投入，具备深厚的技术和人才储备，公司立足ALD技术和产品，拓展了PECVD、PEALD二合一等产品类型，目前已经实现在光伏、半导体、柔性电子领域的产业化应用，并提供配套产品及服务。截至2022Q3，公司在手订单19.75亿元，订单金额迅速增长。
　　薄膜沉积设备下游需求旺盛，ALD设备国产替代需求迫切。薄膜沉积设备广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。光伏市场新增装机量迅速增长，新一代N型电池产线中薄膜沉积工艺环节增量明显。半导体市场产能扩充，先进制程演进增加了薄膜沉积工艺数量。ALD设备在半导体先进制程应用中技术优势明显，市场占比有提升趋势，且国产化水平相较于其他薄膜沉积设备较低，国产替代需求迫切。
　　丰富产品序列、拓宽下游应用，ALD细分赛道龙头阔步前行。在光伏市场，公司以ALD为核心，向PECVD和PEALD二合一产品领域不断拓展，产品应用覆盖日趋完善，与国内前十名电池片企业均建立了合作关系，具有较强的市场影响力。在半导体市场，公司产品在28nm逻辑器件制造的High-k材料沉积环节产业化应用，实现了“卡脖子”技术突破，获得多家国内知名半导体公司的商业订单。公司是国内ALD设备行业的领军者，未来有望充分受益于产品覆盖程度、下游应用领域的完善拓展，以及薄膜沉积设备的国产化进程。
　　盈利预测与投资建议。预计公司22-24年营收分别为6.19/11.82/16.73亿元，参考可比公司估值水平，给予公司2023年10~11倍PS估值,对应合理价值区间为26.00~28.60元/股。
　　风险提示。技术研发不及预期；新产品进展不及预期；客户集中度较高