上海证券-至纯科技-603690-2021年中报点评：业绩符合预期，订单延续增长态势-210831

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事件公司发布2021年半年度报告，上半年实现营收9.20亿元，同比增长76.51%；归母净利润1.50亿元，同比增长395.51%；扣非归母净利润0.43亿元，同比增长69.06%。

其中，2021Q2实现收入6.89亿元，同比增长68.87%；归母净利润0.75亿元，同比增长66.67%。

营业收入同比增长主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加所致。

归母净利润同比大增主要是收入规模整体增加、公允价值变动损益（0.38亿元）及补贴收入（0.78亿元）增加所致。

公司上半年新增订单17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。

点评高纯工艺系统已切入一线用户，新研发成果开始陆续接到订单少数本土高纯工艺系统厂商的产品和服务已进入全球一线客户，正逐步实现进口替代。

公司的客户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士、三星、台积电、力晶等下游行业领先者。

公司大力拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、工艺尾气处理系统、大宗气体系统等相关技术陆续通过验证并获得订单。

其中，半导体级先进前驱体物料供应系统已研发完成，并接到客户的首台订单，将于2021年3季度进入验证阶段；今年上半年，干式特殊气体排放处理设备通过多个12寸半导体工厂验证，并在6个月内获得超过80台设备订单；首个服务于12寸半导体的电子级大宗气体工厂处于建设中，预计在2021年3季度进入调试，年底投入运行。

上半年高纯工艺系统新增9.8亿元订单，是该业务去年总收入的1.14倍，未来业绩增长具有保障。

半导体湿法清洗设备又拓展新客户，高阶工艺设备已获取正式订单公司能提供到28nm节点全部湿法工艺，槽式设备及单片式设备均能满足8-12寸晶圆制造的湿法工艺需求，已切入中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等一线用户，今年上半年又开拓了绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等新客户。

在技术储备上，公司持续开发符合高阶工艺应用的设备（如多反应腔、18腔等），在14nm-7nm技术方面已接到4台订单，预计将于2022年交至客户产线进行验证。

上半年湿法设备新增订单4.3亿元，达到去年全年湿法设备订单的85%，湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元，下半年将有8台12寸单片设备交付到中芯国际、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。

盈利预测我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元，归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元，对应当前股价的PE分别为65x/51x/43x。

公司通过高纯工艺系统起家，和半导体一线厂商建立了良好合作关系，湿法清洗设备和高纯工艺系统业务有望实现协同发展。

未来随着清洗设备收入占比不断提升，公司估值有望重构。

在我国半导体产业面临外部打压背景下，国产替代是行业发展趋势，我们看好公司湿法设备的成长性。

未来六个月内，维持“买入”评级。

风险提示新产品拓展不及预期；行业竞争加剧；下游需求不及预期。