光大证券-华特气体-688268-光刻气产品获得供应商认证函公告点评：光刻气客户认证再下一城，国产电子特气龙头持续发力-211010

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事件：10月8日晚，华特气体发布公告。

公告称公司四款光刻气产品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）均通过了日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证。

点评：光刻气认证再下一城，半导体光刻用准分子激光厂家全覆盖。

光刻气中的惰性气体和卤素气体在受到电子束激发后所形成的准分子发生电子跃迁后可产生特定波长的光，即可产生准分子激光。

常见的准分子激光包括有KrF（248nm）和ArF（193nm），KrF和ArF准分子激光则是深紫外半导体光刻机所使用的光源。

目前全球范围内仅有荷兰的ASML和日本的GIGAPHOTON能够生产高性能的半导体光刻用的准分子激光光源。

公司的光刻气产品于2017年通过了荷兰ASML的产品认证，在本次通过日本GIGAPHOTON的产品认证后，公司实现了自产光刻气产品对于下游半导体光刻用准分子激光设备厂商的全覆盖，显著提高了公司在光刻气领域内的认可度和知名度。

此外，公司目前也是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。

2021年上半年，公司光刻气销售额较2020年同期同比增长70%以上。

特气产品国产替代持续推进，已成功渗透最先进5nm工艺产线。

公司作为国内特种气体龙头企业，已实现了高纯四氟化碳等20多个产品的国产替代。

公司在集成电路领域，对8寸芯片厂商的覆盖率达80%以上，2020年年内也已基本覆盖了内资12寸芯片厂商，同时有多个产品实现了14纳米、7纳米先进工艺的批量供应，部分氟碳类产品已进入目前最为先进的5nm工艺产线中。

加速下游客户产品渗透，提前布局第三代半导体。

公司目前已向国内最大的碳化硅厂泰科天润实现供货，同时此前也有产品在国内最大的氮化镓厂英诺赛科中进行产品验证。

特气行业具有较高的客户粘性，公司产品成功导入下游客户后，即有望获得持续性订单，从而使得公司在第三代半导体供应中具备一定先发优势，为公司后续在第三代半导体领域内的发展奠定坚实基础。

盈利预测、估值与评级：公司在通过日本GIGAPHOTON光刻气供应认证后，距离产品放量还需一定周期，因此暂不考虑对应的业绩增量。

故我们维持公司盈利预测，预计公司2021-2023年归母净利润分别为1.44/1.92/2.48亿元，折算成EPS分别为1.20/1.60/2.07元。

我们持续看好公司作为国内特气龙头在当前国内半导体行业快速发展背景下的未来成长，仍维持公司“增持”评级。

风险提示：产品导入不及预期，产品研发进度不及预期，半导体行业政策风险。