华西证券-机械设备行业：检测设备系列之一，半导体缺陷检测，谁有机会成为中国的科磊？-200224

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　　主要观点:
　　检测设备是大家关注但是在划分上通常并不清晰的一类设备。我们接下来的一系列报告希望能够深度挖掘检测设备的技术内核以及在不同行业中的不同应用。
　　半导体行业是首要分析的下游之一。大家口中的“半导体检测设备”可以进一步具体分为：狭义的检测（主要是DefectInspection）、测量（Metrology）以及测试（Test）。除去这三种工艺制程相关的“检测”设备外，在设计验证阶段还有第三方检测公司，主要做芯片的失效分析等。
　　本篇主要讨论的是狭义上的“检测”。
　　粗略估算，2020年全球前道狭义检测设备约40亿美金左右。通常半导体前道检测和测量设备会放在一起进行讨论。根据SEMI数据，狭义检测+测量设备约占半导体设备投资比例的11%，据此，2020年狭义检测+测量设备全球约65亿美元，国内约16亿美元，其中狭义检测设备约占狭义检测+量测设备2/3左右，即全球和国内分别约为43、11亿美元。
　　半导体检测设备市场格局：KLA是全球绝对王者，占比过半。2018年SEMI数据讲前道的检测测量放在一起统计，KLA在前道的检测和测量市场中占比过半、稳居行业第一，堪称半导体检测设备领域王者，且在所有半导体设备企业中排名第五；其次是应用材料和日立，二者市占率均超过10%，前三市占率合计达到75%。
　　国内检测设备格局：国内半导体检测设备领域，相关企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局，在相当细分领域已取得较大进展，国内重点布局企业有赛腾股份、上海睿励、中科飞测等。
　　投资建议：重点推荐赛腾股份，公司2019年完成收购日本Optima株式会社67.53%股权，并拟增资提高至约74.25%股权，由此进入半导体晶圆检查设备领域。其他收益标的或公司包括：上海睿励（中微公司拟入股）、中科飞测等。
　　风险提示：1）半导体设备行业波动；2）相关企业研发进度低于预期。