安信证券-芯源微-688037-涂胶显影打破垄断，湿法清洗国产先锋-200814

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■国内涂胶显影设备稀缺供应商，横跨晶圆制造前后道工艺：芯源微是国内半导体设备稀缺供应商，自2002年年成立以来深耕涂胶显影设备，已经在LED芯安信证券片制造及集成电路后道先进封装等环节实现进口替代，目前正向前道扩展。

2017年公司芯源微开拓单片式湿法清洗设备业务，近两年实现较快增长。

根据公告，2019年两大业务收入占比688037分别为52%和45%。

公司LED客户主要包括华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等，集成电路客涂胶显影打破垄断户主要包括台积电、上海华力、中芯国际、长江存储、华为、华天科技、长电科技、通富微电等。

新产品持续取得客户突破，新增订单也在持续交付过程中，公司作为国内半导体设备稀缺标的，产品和技术实力强劲，在国产替代背景下具备高成湿法清洗国产先锋长性。

■涂胶显影设备打破国外垄断，不断开发高端产品和客户：根安信证券据VLSI，2018年全球涂胶显影设备市场规模约为24.13亿美元，国内为9.36亿美元。

其中，TEL（东京电子）在全球和中国都绝对垄断地位，在国内市占率约91%，国产厂商仅芯源微一家，占约4%，为国产替代突破口（18年，根据贝哲芯源微斯信息咨询）。

芯源微的工艺范围涵盖LE688037D芯片制造、集成电路制造后道先进封装制程以及前道的I-line、KrF、ArF等制程工艺。

公司的前道涂涂胶显影打破垄断胶显影设备已于2018年下半年分别发往上海华力、长江存储进行工艺验证。

截止2019年报，公司已陆续获得了株洲中车、青岛芯恩、上湿法清洗国产先锋海积塔、宁波中芯、昆明京东方、厦门士兰等多个客户的前道订单。

■湿法清洗使用频率高，公司已由后道封装切入前道制造：湿法工艺应用于晶圆制造过程中90%以上的清洗步骤，其中单片式清洗设备的产安信证券能相对较低，但微粒去除能力较好且可以避免交叉污染。

芯源微根据VLSI，2018年全球单片式湿法清洗设备规模约22.69亿美元，主要厂商为日本DNS，占比达40%以上（根据中国产业信息网）；国内主要竞争对手为盛美股份，至纯科技和北方华创。

公司生产的单片式湿688037法设备主要由清洗机、去胶机和湿法刻蚀机构成，其单片式湿法设备目前广泛用于晶圆后道封装，另外前道SpinScrubber清洗机设备已在中芯国际、上海华力等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单（根据19年报）。

■投资建议：我们预计公司2020年~2022年收入分为3.11亿元（+46%）、5.38亿元（+7涂胶显影打破垄断3%）、7.39亿元（+37%），归母净利润分别为0.50亿元（+70.3%）、0.78亿元（+55.5%），1.23亿元（+58.1%），EPS分别为0.59元、0.92元和1.46元，对应PE分别为219倍、141倍和89倍，首次覆盖，给予买入-A投资评级。

■风险提示：LED行业周期性不景气的风险；前道涂胶湿法清洗国产先锋显影设备工艺验证及市场开拓不及预期的风险；政府补助政策的风险；新冠肺炎疫情导致需求下滑或延缓的风险。