东吴证券-至纯科技-603690-清洗机业务批量交货，长期受益于清洗机国产化率提高-210208

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至纯科技清洗设备国内龙头地位稳固，具备卡位优势目前至纯已成长为国内半导体清洗设备两家龙头之一。

（1）从订单金额上来看，公司S300单片湿法设备的订单超过10台（超3亿元）。

我们预计2021年新接清洗机订单金额将会继续快速增长，至纯与盛美将会共同占据国内清洗设备高端市场的双龙头地位；（2）从技术上看，至纯已在技术难度更高的单片式设备上获得突破，并在几个特殊工艺上（晶背清洗、高温硫酸、异丙醇干燥）弥补了国内空白。

（3）从交付能力上看，2020年至纯的单片设备和槽式设备全年出机超过了30台。

对于5年（2018-2022）200台的目标，2018-20年至纯已累计出货小70台，我们预计2022年累计200台的目标将顺利完成。

至纯科技在清洗机上具备人才+技术+客户的先发优势，行业新进入者的零部件供应+新型机台验证较困难，因此我们判断至纯目前的龙头地位具备延续性。

清洗设备赛道好空间大，有望率先实现全面国产化相比于刻蚀机、光刻机和CVD设备，技术门槛较低的清洗机有望率先实现未来3-5年的全面国产化。

我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备空间在15-20亿美元，目前除长江存储之外的各家晶圆厂，清洗机的国产化率均在10%以内。

我们假设到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%，则国产设备每年的市场空间在40-70亿元；我们判断2025年左右可以实现绝大多数清洗机机型的国产化，则国产设备市场空间约100-130亿元。

作为国内龙头，公司的清洗机已覆盖0.35um到28nm线宽的制程工艺，我们看好中长期至纯清洗机逐步突破高制程工艺技术。

传统主业高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司贡献稳定现金流至纯高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。

目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。

我们判断该业务未来三年有望保持15%的复合增速，我们预计2020-2022年高纯工艺系统收入分别为7.3、8.4、9.7亿元。

晶圆再生业务：至纯竞争优势显著，静待晶圆再生业务空间打开至纯晶圆再生业务团队来自于成熟的技术团队，具备业务经验及技术优势。

（1）相比于海外竞争对手，至纯具备距离优势，直接为客户节约物流费用；（2）相比于国内竞争对手，至纯具备成本优势。

我们判断，伴随下游晶圆市场放量，晶圆再生业务空间即将打开，集距离优势、技术优势及成本优势于一身的至纯将充分受益。

盈利预测与投资评级：我们考虑到下游晶圆厂的设备国产化进程加速和至纯的清洗机业务进入客户订单放量阶段，我们预计2020-2022年的净利润分别为2.42/3.39/4.45亿，对应当前股价PE为43、30、23倍，上调至“买入”评级。

风险提示：半导体业务进展不及预期；行业竞争加剧风险。