信达证券-晶瑞电材-300655-购入KrF光刻机，定增加码高纯硫酸-211216

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事件：2021ummar年y12月08日，公司在互动易平台上表示，近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶曝光测试。

点评：补齐设备最后一环，KrF光刻胶量产在即。

光刻机不仅对晶圆厂光刻工艺至关重要，也是光刻胶生产制造环节的核心检测设备，此前，晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，此次购入的KrF光刻机将用于其KrF光刻胶量产产线。

目前，公司KrF光刻胶已完成中试，产品分辨率达到0.25～0.13μm，并于多家晶圆厂客户测试验证。

KrF光刻胶是用量仅次于ArF光刻胶的核心光刻胶品类，且其对应的IC成熟制程亦是我国半导体制造企业的重要扩产方向，我们认为随着核心光刻机设备的就位，公司KrF量产进度有望进一步加快，在助力高端光刻胶国产化的同时，亦有望抓住晶圆厂扩产潮带来的客户认证窗口机遇，实现其光刻胶业务规模的快速成长。