光大证券-芯源微-688037-系列跟踪报告之一：中国半导体涂胶显影设备龙头快速成长-220530

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公司是国内半导体涂胶显影设备龙头。

公司是国内半导体涂胶显影设备的龙头企业，主要产品包括涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于集成电路前道晶圆加工领域和后道先进封装领域，以及化合物、MEMS、LED芯片制造等领域。

2021年公司的前道涂胶显影设备获得了多个前道大客？订单及应用，下游客？覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内？商，实现了？批量国产替代。

公司生产的off-line涂胶显影机已实现批量销售，I-line涂胶显影机已经通过部分客？验证并进入量产销售阶段，KrF涂胶显影机已经通过客？ATP验收。

未来公司将沿着offline（前道Barc、PI）→inline（I-line→KrF→ArF→ArFi（浸没式））的工艺发展路线，逐步实现前道涂胶显影设备的工艺提升。

2021年公司涂胶显影设备收入为5.06亿元，同比增长114%，在总营收中的占比为61%，我们预计2022-2024年该业务的营收分别为7.82/10.26/12.73亿元。

公司前道物理清洗设备实现国产替代，产品逐步向化学清洗设备延伸。

公司在前道物理清洗领域已掌握28nm工艺节点的核心技术，该类设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代。

该类设备2020年已在国内多个重点客？处通过验证，2021年获得中芯国际、上海华？、武汉新芯、厦兰集科、扬杰科技、？岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab？商的批量重复订单。

未来，公司将沿着单片式物理清洗机→单片式化学清洗机的产品工艺路线，逐步扩大单片清洗机的市场覆盖率，可应用于更高工艺等级的前道晶圆制造领域。

公司2021年单片式湿法设备收入为2.90亿元，同比增长281%，在总营收中的占比为35%，我们预计2022-2024年该业务的营收分别为4.50/6.47/8.68亿元。

公司22Q1业绩靓丽，产品竞争？不断增强，新签订单量高速增长。

公司2022Q1营业收入为1.84亿元，同比+62%，实现归母净利润0.32亿元，同比+398%，实现扣非归母净利润0.31亿元，同比增长580%，业绩实现大幅增长。

2022Q1公司核心产品在关键客？表现良好，市场认可度不断提高，新签订单保持高速增长。

从2022Q1签单的情况来看，公司前道领域产品已经开始放量，2022年新签订单的结构中前道产品的占比大幅提升。

公司目前在手订单饱满，本轮疫情对公司生产情况影响较？，预计2022年新签订单也将保持高速增长。

盈利预测、估值与评级：芯源微是国内涂胶显影设备的龙头企业，涂胶显影设备和清洗设备有望随着下游客？验证及导入的加速而逐步放量。

我们维持芯源微2022-2024年的归母净利润分别为1.42、2.09、2.80亿元，当前市值对应的PS分别为8x、6x、5x，维持“买入”评级。

风险提示：客？集中度高的风险，技术研发不及预期，下游应用及需求不及预期。