中银国际-半导体设备行业国产化专题十：12英寸工艺设备国产化，中微半导体、盛美半导体、北方华创、华海清科等是12寸线设备国产化的关键推动者-210722

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据国际招标网中标数量统计，目前国内主要的4条12寸晶圆产线的整体国产化率不足15%。

分设备类型来看，去胶设备的国产化水平最高，接近70%，CMP、刻蚀、清洗、热处理等工艺设备类别的国产化率均超20%，PVD设备整体国产化率近15%，CVD、离子注入、量测、光刻、涂胶显影、镀铜等设备的国产化率均不足5%。

报告要点12英寸产线的工艺设备国产化平均水平接近13%。

据中国国际招标网数据统计，长江存储、华虹无锡、合肥晶合、上海华力二期四个项目共累计采购数千台工艺设备，整体国产化率接近13%。

清洗设备：盛美半导体在12英寸国产清洗设备占据绝对领导地位。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购接近四百台清洗设备，按中标数量对应供应商排序依次是DNS、盛美半导体、TEL、Lam、JET、北方华创、芯源微。

盛美半导体的市场份额仅次于DNS，是12英寸清洗设备国产化的主导者，占据90%以上的国产清洗设备，国产厂商还包括北方华创、芯源微。

镀铜：盛美半导体是国内镀铜设备的唯一国产供应商。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购近三十台镀铜设备，按中标数量对供应商排序依次是Lam和盛美半导体。

CMP：华海清科目前是国内12英寸CMP设备的唯一供应商。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购的一百七十多台CMP设备，按中标数量对供应商排序依次是AMAT、华海清科、荏原，华海清科是仅次于AMAT的第二大CMP供应商。

PVD：北方华创是国内PVD设备的唯一供应商。

据中国国际招标网数据统计，4个项目共累计采购的一百多台PVD设备，按中标数量对供应商排序依次是AMAT、北方华创、SPTS等，北方华创在部分12英寸产线的PVD设备中占比超过20%，是仅次于AMAT的第二大PVD供应商。

刻蚀：中微公司、北方华创、屹唐股份三家合计实现刻蚀设备国产化率超20%。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购的六百多台刻蚀设备，按中标数量对供应商排序依次是Lam、TEL、中微公司、AMAT、北方华创、屹唐半导体等。

中微公司、北方华创、屹唐半导体市占率合计占比超20%。

其中中微公司在部分12英寸产线上的CCP刻蚀的订单份额达到35%左右。

热处理：北方华创、屹唐半导体共实现热处理设备国产化率近23%。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购的五百多台热处理设备，按中标数量对供应商排序依次是TEL、北方华创、AMAT、日立国际电气、屹唐半导体等，国产化率近23%，北方华创贡献80-90%的国产热处理设备。

CVD：沈阳拓荆专注于PECVD、ALD、SACVD等，而盛美半导体等实现LPCVD国产化。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购的九百多台CVD设备，按中标数量对供应商排序依次是AMAT、TEL、Lam、Kokusai、沈阳拓荆、ASM、盛美股份等，国产化率不足5%，但拓荆科技2018-2020年营业收入依次是0.71、2.51、4.36亿元，CVD业务发展十分迅速。

去胶机：屹唐半导体在国内去胶设备市场份额排名第一。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购接近一百四十台去胶设备，按中标数量对供应商排序依次是屹唐半导体、日立国际电气、PSK、Lam、AMAT、DNS等。

光刻机：国产化刚刚起步，上海微电子装备已实现光刻机零的突破。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购近九十台光刻机，按中标数量对供应商排序依次是ASML、CANON、Nikon、上海微电子等。

Track：涂胶显影机的国产化也刚刚起步，沈阳芯源是目前唯一一家实现12英寸涂胶显影设备订单突破的国产厂商。

据中国国际招标网数据，4个项目共计采购超一百台涂胶显影机，按中标数量对供应商排序依次是TEL、芯源微、SCREEN等。

离子注入机：万业企业、中科信承担离子注入机的国产化。

目前国内产线的离子注入机均主要依赖于应用材料、亚舍立两家公司，但国产厂商中，根据公司公告，万业企业已中标数台离子注入机订单，中科信已实现在部分产线上国产离子注入机零的突破。

量测设备：国产化率不超过5%，上海精测半导体、中科飞测等引领量测设备国产化。

参考各12英寸产线统计数据，目前仅有上海精测半导体、中科飞测实现量测设备的持续的重复订单，但国产化率仍然较低，本土产线量测设备仍主要依赖于KLA、Onto、Nano、Nova、AMAT、ASML等海外品牌。

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