国盛证券-拓荆科技-688072-国产薄膜沉积设备龙头，广阔空间加速成长-220503

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国内唯一PECVD、SACVD产业化供应商，打破外资垄断。

拓荆科技成立于2010年，十余年来专注于半导体薄膜沉积设备，承担多项国家科技重大专项，是国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商，主要产品包含PECVD设备、ALD设备及SACVD设备三个系列，产品已适配国内最先进的28/14nm逻辑芯片、19/17nmDRAM芯片及64/128层3DNANDFLASH晶圆制造产线，并应用于中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂，累计发货超150台，打破外资厂商在国内的垄断局面。

营收连续高增，盈利能力快速提升。

受益于国内半导体设备需求快速增长，公司持续研发投入进行产品迭代，提升竞争力，公司营收自2018年0.71亿元增长至2021年7.6亿元，归母净利润由2018年的-1.0亿元，到2021年扭亏为盈6848.7万元。

此外随着规模化逐步体现、工艺技术提升、先进工艺机台推出，公司毛利率快速提升，由2018的31.67%提升至2021年44.0%，2022Q1进一步提升至47.4%。

2020年全球薄膜设备市场达到138亿美元，占IC制造设备21%；其中主要是CVD和PVD，合计占IC制造设备18%。

CVD市场规模达到89亿美元，主流是设备包括PECVD、TubeCVD、LPCVD和ALD等。

整个薄膜市场市占率最高的是AMAT。

高端领域如ALD受ASM、TEL和Lam等海外龙头主导。

根据Gartner，全球CVD市场前五大供应商包括AMAT（28%）、LamResearch（25%）、TEL（17%）、Kokusai（原日立高新，8%）、ASM（11%）。

国内薄膜厂商加速导入，国产化率仍有较大提升空间。

根据招标网数据统计，长江存储在2019~2020年采购薄膜类设备约每年200多台（主要是CVD和PVD），主要类别以CVD为主，其中原子层沉积70~80台。

从国产替代率而言，溅镀（PVD类）北方华创供应数量比重较高，合计达到将近20%；CVD类国产替代率较低，主要国产供应商拓荆科技供应占比约2~3%。

北方华创、拓荆科技在华虹无锡、华力集成项目合计国产化率约10~15%。

国产PECVD领军者，研产销均有先发优势，充分受益国产化进程。

在PECVD、ALD及SACVD设备领域，拓荆科技产品总体性能和关键性能参数已达国际同类设备水平。

作为国内唯一实现PECVD及SACVD设备产业化应用的厂商，2019至2020年公司PECVD设备中标机台数量占长江存储、上海华力、无锡华虹和上海积塔四家招标总量的16.65%；同时公司还已与某国际领先晶圆厂建立业务联系，发货两台设备至该厂先进制程研发产线，奠定全球市场基础。

我们预计公司将在2022年至2024年实现收入11.87/17.64/23.27亿元，归母净利润1.12/2.26/3.56亿元，对应当前估值135.0/66.7/42.4x，首次覆盖，给予“买入”评级。

风险提示：国产替代进展不及预期、全球贸易纷争影响、下游需求不确定性。